微波固形物測量儀的微波信號由波導管發射經過試樣衰減接收，經放大器和檢波器后指示。被測材料放在發射器和接收器中間。儀器精度為指示值的±0.5%；這種儀器初用于土壤、水泥、墻壁及其它建筑材料中水分的測量以后用于多種物質如紙張、木材、飼料、谷物、煤炭等水分的測量。微波是指頻率為300MHz-300GHz的電磁波，是無線電波中一個有限頻帶的簡稱，即波長在1米（不含1米）到1毫米之間的電磁波，是分米波、厘米波、毫米波和亞毫米波的統稱。微波頻率比一般的無線電波頻率高，通常也稱為“超高頻電磁波”。